FEMTO パラキシリレンコーティング装置

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パラキシリレンコーティング装置

研究用途や小ロットの生産に適したパラキシリレンコーティング装置です。
フェムトサイエンス社のパラキシリレンコーティング装置は、全ての操作をタッチパネルで操作でき、燃焼温度管理等も細かく設定ができるので、最適なコーティング環境を設定できます。

■パラキシリレンコーティングについて
技術的には約30年前からある古い技術ですが、ここ数年で様々なパウダーが開発されたり、凹凸部分や狭い隙間にも均一なコーティングが常温でできる 特長により、MEMS分野等で使われるケースが増えています。
コーティング膜自体は、非常に安定した高い結晶性を持つ結晶性ポリマーで、絶縁性・耐溶剤性・耐熱性を持ちながら非常に薄膜で均一な厚みが特長で す。
また、真空チャンバー内で常温でコーティングするので、ほとんどの物にコーティングできます。

■コストパフォーマンスに優れています
近年、性能面でも国産の製品と同等以上になっている韓国で生産していますので、国産の同等品と比べてコストパフォーマンスに優れています。

■製品ラインアップ
LAVIDA-220

FEMTO21

 

 

 

 

 

○バイオセンサーの研究や全体をコーティングするのに適した水平チャンバー仕様

○チャンバーサイズ: 内径203mm 高さ424mm

 

FEMTO22

 

 

○基板表面等のコーティングに適した垂直チャンバー仕様
○水平チャンバーに比べて、コーティング後の清掃が容易
○チャンバーサイズ: 内径220mm 高さ 385mm

■ 共通仕様
 ○全ての操作ができ、運転状況が確認できる、カラータッチパネルインターフェース
 ○温度管理を細かく設定できる、PLCオートマチックコントロール
 ○1度設定すれば、ワンタッチ操作のプロセスレシピ記憶機能
 ○3系統の安全システム

■ オプション
 ○冷却トラップ装置
 ○ローディングプレート増設 

■ チャンバーサイズ変更

■専用パウダー
 ○Amino      (4-Amino-di-p-xylene
 ○Aminomethyl (4-Aminomethyl-di-p-xylene)
 ○Formyl     (4-Formyl-di-p-xylene)
 ○Carboxy     (4-Carboxy-di-p-xylene)
 

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