LF真空プラズマクリーナー SoCUTEシリーズ
最大10レシピを保存できます。
すべての制御がデジタルで高い再現性が保たれます。
特許取得のガスフローデザインで均一な処理ができます。
MCF標準装備
LF真空プラズマクリーナー CIONEシリーズ
電極反転機能を標準装備
RIEモードでナノエッチングか可能
ガスフローデザインで均一な処理が可能(＊特許取得）
プラズマピペット『Plasma Pipette』S/Fタイプ
ハンディタイプ且つ、充電式タイプのプラズマ装置になる新しいモデルの
ラインナップになります。
LF真空プラズマクリーナー『CUTE・COVANCE・COGRADE』シリーズ
表面クリーニングに最適なLF帯の周波数を使用したプラズマクリーナーです。
LFプラズマからRFプラズマまでラインナップし幅広い研究用途にご使用できます。
パラキシリレンコーティング装置 『LAVIDA-110』
凸凹面や狭い所も、常温で圴一なコンフォーマルコーティングができます。
用途：バイオセンサーの研究・絶縁膜・耐溶剤膜・防水・生体適合膜 等
真空プラズマエッチング装置 『VITA』シリーズ
VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。
コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。
パラキシレン成膜装置 『P-LAVIDA』シリーズ ≪新製品≫
P-LAVIDAは、小型でありながらコンフォーマルなコーティングが可能です。
プラズマ技術による新方式採用。処理時間が大幅に短縮！！(約80分）
複雑な形状や非常に狭い隙間にも均一の厚みで
コーティングすることができます。
1～10µm程度の膜厚で使用することが多く、目的に応じnmの膜厚も可能です。