| VITAシリーズ | ||
|---|---|---|
| 機種名 | VITA8 | VITA12 |
| チャンバー | 9.2inch | 14.4inch |
| プラズマモード | RIE | |
| ガス導入口数 | 標準 1ポート ※ オプションで 5個追加可能 |
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| 周波数/出力 | RF（13.56MHz） / MAX300W | RF（13.56MHz） / MAX600W |
| コントロール | タッチパネルPCでデジタル制御 | |
| 装置寸法 | W748×D1,030×H1,200mm | W748×D1,139×H1,220mm |
| ジョイント | Gas:1/4" Swagelok-fitting | |
| 電源 | 110～120 VAC, 50/60Hz, 1Ph | |
※ RFジェネレーター出力を変更可能
- VITA8: 600W
- VITA12: 1200W
※ 特注で4インチ及び6インチタイプも製作可能です。