| LAVIDAシリーズ | ||
|---|---|---|
| 機種名 | LAVIDA-110 （水平タイプ） |
LAVIDA-1000 （垂直タイプ） |
| 蒸着チャンバー | I.D 200×H420 mm | I.D 950×H1,200 mm |
| ローターサイズ | 直径170mm | 直径610mm |
| 回転速度 | 1～30rpm | 1～10rpm |
| 気化器 | 温度レンジ 0～200℃ フルオート温度調整、10ステップ設定可能 |
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| Daimer Loading | MAX 100g | MAX 750g |
| 熱分解炉 | 0～800℃ | 0～900℃ |
| 装置寸法 | W1,600×D800×H1,300mm | W3,250×D1,500×H1,990mm |
| 電源 | 200～220 VAC, 50/60Hz, 30A | |
※ ご要望に応じて、カスタマイズも可能
| P-LAVIDAシリーズ | ||
|---|---|---|
| 機種名 | P-LAVIDA | P-LAVIDA （回転ステージ） |
| LFジェネレーター | 20～100KHz/100W | |
| チャンバー | QZチャンバー | |
| ドアヒーター | 最大 200℃ | |
| 蒸発器 | 最大 200℃ | |
| ガスチャネル | 1チャネル (オプション最大で3チャネル) |
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| サンプルトレイ | Φ170mm | Φ135mm |
| トレイ回転範囲 | — | 1～10rpm (基本3RPM) |
| 操作パネル | 7インチタッチPC | |
| 装置寸法 | W500×D500×H1,840mm | |
| ジョイント | Gas:1/4" Swagelok-fitting | |
| 電源 | 100～110 VAC, 50/60Hz, 15 A | |