Tomocube

3D欠陥解析システム

HT-T1D

ヘッド画像
項目 仕様スペック 備考・詳細
光学システム 透過式(Transmission Holotomography) 第2世代 ホロトモグラフィー技術
光源 LED光源 非破壊・低ダメージ照射
測定情報 屈折率 3次元トモグラム 感度 ~10⁻⁴ Δn
横方向分解能 161 nm Optical Resolution
軸方向分解能 1.298 μm @Glass (n=1.5)
撮像領域(FOV) 250 × 250 μm 高精度局所・広域解析
撮像深度 最大 2,000 μm(2 mm) Sample Thickness/ガラスコア基板対応
測定速度 2秒未満/1スポット 高速測定・スループット向上