1 試料を取付け
装置に樹脂埋め試料を取付ければ、面出しから連続鏡面研磨、撮影まで全て可能。1日あたり100枚程度のセクショニング像が全自動で取得
3D観察の空白を埋め､材料のありのままの形態の観察も
可能な全自動試料研磨観察装置
全自動シリアルセクショニング3D顕微鏡”Genus_3D”は高効率で様々な材料の3D観察に適用可能です。
組織観察過程である観察、研磨、洗浄、エッチングを全自動で繰返し行う事が可能で、試料の位置精度に優れた本装置の逐次研磨像を再構築することによって、多彩な材料の3D組織像が効率よく取得できる事により、高効率、高精度、適用範囲の広い3D組織観察が可能となりました。
無人で全自動動作を行う事が可能となっている為に、離れた所からのリモートコントロールにも対応しています。
主な用途
| 単相・複相組織解析 |
| 材料の破壊機構解明（ボイド・亀裂） |
| 欠陥評価（介在物・空洞） |
| 材料内部界面の解析（相界面・粒界） |
特長
- 最も実用的な視野範囲の3D顕微鏡として使用できます。 FIB-SEMとX線CTとの中間の視野大きさで、最適な視野範囲の3D像を高解像度で網羅する事が可能となります。
- 解像度:200～300ナノメートル精度で微細構造を観察
- 広範囲観察：センチメートルからミクロン単位まで対応
- 全自動で化学的エッチング又は電解エッチングを行うことが可能な全自動観察装置で、材料内部の組織形態を組み合わせた3D観察が行えます。
- 高速処理:1セクション約15分、効率的な連続観察
- 研磨→エッチング→洗浄→撮影の全プロセスを全自動で研磨観察
- 動作途中で試料を取り外す事が行え、他の分析器と組み合わせる事で3D分析に利用することが可能で、再度試料を取り付けて観察を続行する事も可能。
- 多彩な機能：電解研磨・振動研磨機能、同一面の大きく異なる硬度の連続研磨、接触式研磨量測定等
- HDRや深被写界深度や視野拡張などの多彩な撮影機能により様々な種類の試料の画像を良好に取得可能。
- 多数の試料に対応したライブラリーと最適化された専用消耗品が用意され、誰にでも良好な自動試料観察を行うことが可能。
使用例
| 深さ方向に0.1μmの間隔でステンレス鋼の研磨面に電解エッチングを行い、連続断面を1000枚取得したい |
| 異金属の接合部の画像と横方向からの断面画像も取得したい |
| 表面から10μm深さの所から連続断面画像を取得し、EDSを行ってから5μmの連続断面写真を取得したい |
| 金属組織0.1μm毎の連続断面像を取得し、金属組織像とEBSD像の三次元化を行いたい |
| 硬さがまったく違う、タングステン、SIC、銅、樹脂の混在する画像の連続断面写真を取得したい |
一連の組織観察過程を全自動化
数ヶ月の作業が1日で
解析も3Dの時代
金属材料等の内部構造を「3D観察」・「数値化」
2 精密研磨画像
"Genus_3D"により取得した連続画像精密研磨画像
3 高解像度3D像
三次元化ソフトウェアで複雑な操作を行うことなく取得画像から3次元画像を構築。3次元データから数値に変換して、数値解析、特性推定、逆解析を行うことが可能
自動で画像前処理から2D解析、3D解析、逆解析
スタンドアロン材料情報統合システム
MIPHA
機械学習型画像処理、連結性、分岐性、曲率解析、metric特徴量
クラウドシステム材料情報統合システム
ShinyMIPHA
パーシステントホモロジー、二点相関関数、豊富な順・逆解析
観察事例
DP鋼のボイドと金属組織の2値化
CFPRの三次元像
多孔質ガラス
セラミックコンデンサ端子割れ品