| COシリーズ LF（20～100kHz）ジェネレーター | ||||
|---|---|---|---|---|
| 機種名 | S0-CUTE | CUTE-LF | COVANCE-LF | COGRADE-LF |
| チャンバー | W90×D140×H85mm 3inch |
W140×D200×H110mm 4inch |
W200×D220×H160mm 6inch |
W250×D300×H200mm 8inch |
| プラズマモード | PE | |||
| ガス導入口数 | 標準 1ポート ※ オプションで 1個追加可能 |
標準 1ポート ※ オプションで 2個追加可能 |
標準 1ポート ※ オプションで 3個追加可能 |
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| 周波数/出力 | LF（20～100 kHz） /MAX100W |
LF（20～100 kHz） /MAX200W |
LF（20～100 kHz） /MAX300W |
|
| コントロール | タッチパネルPCでデジタル制御 | |||
| 装置寸法 | W360×D360×H300mm | W440×D500×H560mm | W510×D525×H640mm | W600×D615×H680mm |
| ジョイント | Gas:1/4" Swagelok-fitting | |||
| 電源 | 110～120 VAC, 50/60Hz, 1Ph | |||
| COシリーズ RF(13.56MHz)ジェネレーター | ||||
|---|---|---|---|---|
| 機種名 | CUTE-RF | COVANCE-RF | COGRADE-RF | |
| チャンバー | W140×D200×H110mm 4inch |
W200×D220×H160mm 6inch |
W250×D300×H200mm 8inch |
|
| プラズマモード | PE | |||
| ガス導入口数 | 標準 1ポート ※ オプションで 2個追加可能 |
標準 1ポート ※ オプションで 3個追加可能 |
||
| 周波数/出力 | RF（13.56MHz） /MAX100W |
RF（13.56MHz） /MAX200W |
RF（13.56MHz） /MAX300W |
|
| コントロール | タッチパネルPCでデジタル制御 | |||
| 装置寸法 | W440×D500×H560mm | W510×D525×H640mm | W600×D615×H680mm | |
| ジョイント | Gas:1/4" Swagelok-fitting | |||
| 電源 | 110～120 VAC, 50/60Hz, 1Ph | |||
※ CUTE・COVANCE・COGRADE：プラズマモードをPEモードからRIEに変更可能
※ 出力を変更可能（最大600W）