COシリーズは、真空プラズマ装置は、材料研究分野において、
表面改質から表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。
表面改質から表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。
特長
- 多機能処理
表面の微細クリーニング、親水化・疎水化処理、層間接着性向上 - LF真空プラズマ（20 ～ 100kHz）からRF真空プラズマ（13.56MHz）まで、ラインナップし、幅広い研究用途にご使用できます。
- オリジナルのガスフローデザインで均一な処理が可能
- マスフローコントローラー標準装備
- すべての制御がデジタルで高い再現性が保たれます。
- チャンバーサイズ・処理出力に応じて、小型モデルSoCUTEから、CUTE・COVANCEとラインアップ
W.440×D.500×H.560
W.510×D.525×H.640
用途・応用分野
| マイクロエレクトロニクス | レジスト剥離、薄膜前処理 |
|---|---|
| 医療・バイオ | チップの親水化、タンパク吸着の制御 |
| 材料研究 | グラフェン・CNT表面処理、接着強化 |
| 光学デバイス | レンズコーティング前処理、AR膜加工 |
処理チャンバー断面図
PE Mode
Sample is loaded on electrically grounded surface (connected to chamber wall)
ソフトウェア画面
操作画面UI
Manual & Auto mode
シンプルなレシピ設定
Process Recipe Set Up
（Stores up to 10 recipes, USB
Loading & Saving）
プロセスモニタリング
Real-Time Process Graph
（USB Transfer）
使用例
