| CIONEシリーズ | ||||
|---|---|---|---|---|
| 機種名 | CIONE3 | CIONE4 | CIONE6 | CIONE8 |
| チャンバー | W90×D140×H85mm 3inch |
W140×D200×H110mm 4inch |
W200×D220×H160mm 6inch |
W250×D300×H200mm 8inch |
| プラズマモード | PE/RIEモード搭載 | |||
| ガス導入口数 | 標準 1ポート ※ オプションで 1個追加可能 |
標準 1ポート ※ オプションで 2個追加可能 |
標準 1ポート ※ オプションで 3個追加可能 |
|
| 周波数/出力 | LF（20～100 kHz） /MAX100W |
LF（20～100 kHz） /MAX200W |
LF（20～100 kHz） /MAX300W |
|
| コントロール | タッチパネルPCでデジタル制御 | |||
| 装置寸法 | W360×D360×H300mm | W440×D500×H560mm | W510×D525×H640mm | W600×D615×H680mm |
| ジョイント | Gas:1/4" Swagelok-fitting | |||
| 電源 | 110～120 VAC, 50/60Hz, 1Ph | |||
※ CIONE4・6・8：ジェネレーター周波数をRF（13.56MHz）に変更可能
※ 出力を変更可能（最大600W）