Femtoscience

パラキシリレン成膜装置

LAVIDA-Series

ヘッド画像

パラキシリレンとは

パラキシリレン系ポリマーの総称で、ベンゼン環がCH2を介してつながった構造をしています。 真空蒸着で重合したパラキシリレンは、非常に安定した高い結晶性を持つ結晶性ポリマーで 絶縁性・耐熱性・耐薬品性・生体適合性に優れ、非常に薄膜で均一な厚みのコーティングが特長です。

特長

  • 常温での蒸着重合が可能なので、あらゆる物にコーティングが可能
  • 原材料のパウダー量により膜厚をコントロール
  • コーティングしたフィルムは完全にピンホールフリーであり、 複雑な形状や非常に狭い隙間にも均一の厚みでコーティング することができます。
  • 湿式のコーティングとは異なり、表面張力によるふくらみ等が起きないため、均一な薄膜が形成できます。
New P-Lavida

W.500×D.500×H.840

Lavida110

W.1,600×D.800×H.1,300

パラキシリレン成膜装置
Lavida110(水平タイプ)

SYSTEM LAVIDA-110

  • 蒸着チャンバー:I.D 200×H420 mm
  • ローターサイズ:直径170mm
  • 本体サイズ:1,600×800×1,300mm
パラキシリレン成膜装置 Lavida110(水平タイプ)

パラキシリレン成膜装置
Lavida1000(垂直タイプ)

SYSTEM LAVIDA-1000

  • 蒸着チャンバー:I.D 950×H1,200 mm
  • ローターサイズ:直径610mm
  • 本体サイズ:3,250×1,500×1,990mm
パラキシリレン成膜装置 Lavida1000(垂直タイプ)

パラキシリレン成膜装置
P-Lavida

プラズマ技術による新方式採用
処理時間が大幅に短縮(約60~80分)

究極のコンパクト性能、ここに集結
P-LAVIDAは、500×500×840mmのコンパクトサイズに、均一なコーティング性能を凝縮。
プラズマ技術による新方式を採用し、低価格・高精度・短時間の成膜を可能にしました。

仕様と構成

  • 本体サイズ : 500×500×840 mm
  • 処理温度 : Max.200℃(低温処理)
  • 成膜時間 : 装置スタート後、完了まで約60~80分(プラズマ方式)
  • 必要構成 : 本体 + 真空ポンプ(コールドトラップ不要)
  • 導入すれば、すぐに実感
  • 最大1/2の処理時間
  • 設置スペースの大幅削減
  • コストと手間を削減
パラキシリレン成膜装置 P-Lavida