FEMTO 真空プラズマエッチング装置

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真空プラズマエッチング装置 VITAシリーズ

プラズマエッチング

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。

コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

 

プラズマエッチング表

※オプション MFC追加・ドライポンプ・RF600W~ジェネレータ他
※販売価格は予告無しに改定することがあります。

 

アプリケーション例

MEMS
FEMTO31SiO2 Etching

 

 

 

 

 

FEMTO32

Line & space

 

 

 

 

SEMICONDUCTOR

FEMTO33

Nitride Etching

 

 

 

 

FEMTO34

Oxide Etching

 

 

 

 

FEMTO35

Before ⇒ After
SiO2 Ashing

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