FEMTO 真空プラズマエッチング装置
真空プラズマエッチング装置 VITAシリーズ
VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。
コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。
※オプション ＭＦＣ追加・ドライポンプ・ＲＦ600Ｗ～ジェネレータ他
アプリケーション例
MEMS
SiO2 Etching
Line & space
SEMICONDUCTOR
Nitride Etching
Oxide Etching
Before ⇒ After
SiO2 Ashing
