真空プラズマエッチング装置　VITAシリーズ

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。

コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

アプリケーション例

MEMS

SiO2 Etching

 

Line & space

 

SEMICONDUCTOR

Nitride Etching

Oxide Etching

Before ⇒ After
SiO2 Ashing