
真空プラズマエッチング装置 VITAシリーズ

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。
コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

※オプション MFC追加・ドライポンプ・RF600W~ジェネレータ他
※販売価格は予告無しに改定することがあります。
アプリケーション例
MEMS
SiO2 Etching

Line & space
SEMICONDUCTOR

Nitride Etching

Oxide Etching

Before ⇒ After
SiO2 Ashing