FEMTO LF真空プラズマクリーナー

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LF真空プラズマクリーナー

LF真空プラズマ装置は、材料研究分野において基板上の有機物の除去や表面修飾などの用途に使用できます。フェムトサイエンス社のプラズマ装置は、シンプルな操作性で広範囲の設定ができ、基板のプラズマ洗浄・親水性や粘着性の向上などの処理を簡単に行うことができます。

■コストパフォーマンスに優れています

近年、性能面でも国産の製品と同等以上になっている韓国で生産していますので、国産の同等品と比べてコストパフォーマンスに優れています。

■豊富なバリエーション
●チャンバーの形状・サイズも豊富にラインアップ
●ガス導入口数も各機種で複数ラインナップ
●豊富なバリエーションに加えて、様々なオプションで目的にあった仕様が可能

■製品ラインアップ

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CUTE 1MP

○LF真空プラズマでの実験を簡単操作で手軽に行えます。

○低価格でマニュアルタイプからセミオートタイプ、使用ガスも標準1系統・オプションで2系統を選べます。

チャンバーサイズ φ108mm×L250mm

 

 

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CUTE 1MP/R

○上記CUTE-1MPのチャンバーを角型にして、5インチウェハーが入ります。

チャンバーサイズ W150mm×D200mm×H120mm

 

 

 

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COVANCE

○CUTEシリーズの特長に加えて、さらに幅広い研究用途に使用できます。

○使用ガスを最大3系統まで拡張できます。

チャンバーサイズ φ152mm×L320mm

 

 

 

■アプリケーション
○PDMS ボンディング (ガラスとPDMS/PDMS同士等)
○基板の洗浄 (有機不純物の除去)
○プラスチックの表面処理 (親水性/疎水性)
○SEMの前処理 (被写体の有機不純物除去)
○繊維の疎水性処理 (防水処理)

使用例 : 金の蒸着電極をプラズマ処理して、処理面に濡れ性の向上

 

 

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プラズマ処理無し

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プラズマ処理有り

画像提供 九州工業大学 竹中研究室 様

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