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LFプラズマクリーナー『CUTE・COVANCE』シリーズ

LFプラズマクリーナー

表面クリーニングに最適なLF帯の周波数を使用したプラズマクリーナーです。
UVオゾンクリーナーやRFプラズマ装置を使用している方やウエット処理で表面処理をしている方に最適です。

〈用途〉 PDMSポンディング・基盤洗浄  SEM/TEM等の前処理

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パラキシリレンコーティング装置 『LAVIDA-220』

パラキシリレン

凸凹面や狭い所も、常温で圴一なコンフォーマルコーティングができ、使用する原材料(ダイマー)に よってアミノ酸を修飾した薄膜等をコーティングできます。

〈用途〉 バイオセンサーの研究・絶縁膜・耐溶剤膜・防水・生体適合膜 等

 

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真空プラズマエッチング装置 『VITA』シリーズ

プラズマエッチング

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。
コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

 

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